1997-11-19 第141回国会 参議院 科学技術特別委員会 第2号 同施設では、超高速・高次情報処理に必要な極微細構造電子回路の加工技術と基盤技術等の研究を行っています。この研究では、極微細な電子回路を製作するため、目に見えないちりでも回路がショートしてしまいます。そのため、ここでは一万分の一ミリのちりが三十立方メートルに一個以下というクリーンルームを設置しております。 木宮和彦