1991-12-17 第122回国会 参議院 商工委員会 第2号 先般、一昨年でしたか、東京小平市の日立製作所の武蔵工場でシランガスによる爆発事故があったと思っていますが、通産省は当然つかんでおると思うんですが、これは半導体製造工場の三階にあるクリーンルーム内に設置しているシリンダーキャビネットに付設した制御機器格納部分でモノシランが漏えいし、点検作業中に爆発したというものでございました。 福間知之