1991-12-17 第122回国会 参議院 本会議 第8号
本法律案は、最近における高圧ガスの消費の多様化、製造事業の複雑化等に対処し保安の確保を図るため、圧縮モノシラン等を特定高圧ガスに追加すること等による特定の高圧ガスの消費に関する規制及び高圧ガス製造事業所等における保安に関する規制を強化するとともに、最近における高圧ガスの保安に関する技術の向上にかんがみ、規制を合理化する等の措置を講じようとするものであります。
本法律案は、最近における高圧ガスの消費の多様化、製造事業の複雑化等に対処し保安の確保を図るため、圧縮モノシラン等を特定高圧ガスに追加すること等による特定の高圧ガスの消費に関する規制及び高圧ガス製造事業所等における保安に関する規制を強化するとともに、最近における高圧ガスの保安に関する技術の向上にかんがみ、規制を合理化する等の措置を講じようとするものであります。
先般、一昨年でしたか、東京小平市の日立製作所の武蔵工場でシランガスによる爆発事故があったと思っていますが、通産省は当然つかんでおると思うんですが、これは半導体製造工場の三階にあるクリーンルーム内に設置しているシリンダーキャビネットに付設した制御機器格納部分でモノシランが漏えいし、点検作業中に爆発したというものでございました。
ところで、今回の規制の対象になる特殊高圧ガスを七つの種類に絞った理由についてお伺いしたいんですが、今回の規制対象となる特殊高圧ガスは圧縮モノシラン等七種類であると承知をしております。これらの特殊高圧ガスの危険な性質についておおむね明らかにしてほしいと思います。
○政府委員（鈴木英夫君） 最初の御質問でございますが、まず災害の状況でございますけれども、これまでモノシラン等の特殊材料ガスによります事故は、本年十月の死者二名、負傷者五名を伴いました大阪大学の事故を加えまして、昭和五十七年に実は初めて事故が発生いたしまして以来、十年間で十二件発生しております。
その主な内容の第一は、圧縮モノシラン等の特に危険な性質を有するガスを特定高圧ガスとして指定し、消費に際しての届け出や施設の基準維持等の義務を課するとともに、一般消費者向け高圧ガスの販売業者等に対し、災害防止に必要な事項をその消費者に周知させる義務を課すること、 第二は、事業者の危害予防規程の遵守及び保安教育の実施の義務を担保するための措置を講ずること、 第三は、高圧ガスの輸入ついて、現行の許可制
しかしながら、近年、高圧ガス保安行政を取り巻く諸情勢は大きく変化してきており、特に先般の大阪大学における爆発事故にも見られるとおり、圧縮モノシラン等の特に危険な性質を有する高圧ガスの消費が拡大していること等を踏まえ、高圧ガスの消費についての保安対策を強化することが急務となっております。
先ほど来議論にありましたように、この法案がこのように急いで出てきた大きな背景として大阪大学基礎工学部のモノシランによる爆発事故があったことは御案内のとおりだと思いますが、この事故発生以来いろいろな報道もされていますが、事故の原因についての調査というものが行われているわけですが、どういう段階まで来ているのか、概要をごく簡単に、結果が出ていないなら出ていないだけでも結構ですので、お願いします。
○鈴木（英）政府委員 先生御指摘のモノシランに関します事故でございますけれども、このモノシラン等を含めまして特殊材料ガスの事故は、本年十月の先ほどの死者二名、負傷者五名を伴った大阪大学の事故を加えまして過去に十二件発生しておりまして、三名の方が亡くなり、十七名の方が負傷されております。
○山本（拓）委員 今お話がございましたとおり、近年モノシラン等の特に危険な性質を有する特殊高圧ガスと言われる消費が物すごいわけですけれども、ここで具体的に四点ばかり立て続けにお尋ねをいたしますが、このモノシランガスですか、私も全然知らんかったといってしゃれを言ったらおかしなものですが、特殊高圧ガスによる事故の発生状況はどのようになっているのか。
しかしながら、近年、高圧ガス保安行政を取り巻く諸情勢は大きく変化してきており、特に、先般の大阪大学における爆発事故にも見られるとおり、圧縮モノシラン等の特に危険な性質を有する高圧ガスの消費が拡大していること等を踏まえ、高圧ガスの消費についての保安対策を強化することが急務となっております。
それ以外に、例えばモノシラン、これが十七トン、四塩化珪素六十二トン、弗化メタン七十七トンといったようなところが使用量の多い方でございます。
一つは、シリコンのウエハーに半導体の単結晶を成長させるというようなことに使いますシリコン系のガスでございまして、代表的なものはモノシランと言われております。それから二つ目は、トランジスタなどの半導体素子をつくり込む工程等々で用います、アルシンとかホスフィンと呼ばれておりますけれども、そういったガス類があるわけでございます。
○島説明員 先ほど申し上げましたようにいろいろなガスが使われておりまして、ちょっと主だったものでも申し上げますと、モノシランとか二酸化珪素、アルシン、ホスフィン、三塩化硼素、ゲルマン、六弗化硫黄といったようなものが拡散工程で使用されているようでございます。
ちょっとよう聞いておいてほしいんですが、モノシラン、ホスフィン、アルシン、ジボラン、ジクロルシラン、三塩化ホウ素、セレン化水素、四塩化ケイ素、塩化水素、アンモニアという十種類があります。
その中には、モノシランとかホスフィン、こういう毒性があり、また自然発火するものもあります。 私ここに持ってきたのは、この半導体工場で使用されるガスメーカーである日本酸素、この日本酸素が出している「半導体用材料ガス取扱い心得」というパンフレットです。このパンフレット、まず一ページ開きますと、ここに赤い字でこう書いているんですわ。