1991-12-17 第122回国会 参議院 商工委員会 第2号
二番目に御指摘の日立製作所武蔵工場の爆発事故でございますけれども、先生御指摘のように、シリンダーキャビネットに付設いたしました制御機器格納部内で漏えいしたモノシランが爆発いたしまして、一名が死亡し、三名が負傷するという事故が平成元年の十二月に起こったわけでございます。
二番目に御指摘の日立製作所武蔵工場の爆発事故でございますけれども、先生御指摘のように、シリンダーキャビネットに付設いたしました制御機器格納部内で漏えいしたモノシランが爆発いたしまして、一名が死亡し、三名が負傷するという事故が平成元年の十二月に起こったわけでございます。
先般、一昨年でしたか、東京小平市の日立製作所の武蔵工場でシランガスによる爆発事故があったと思っていますが、通産省は当然つかんでおると思うんですが、これは半導体製造工場の三階にあるクリーンルーム内に設置しているシリンダーキャビネットに付設した制御機器格納部分でモノシランが漏えいし、点検作業中に爆発したというものでございました。
その後の調査によりまして、これまで、この教室の中にありますシリンダーキャビネット、いわゆる容器の収容庫でございますけれども、そこにありましたシランガス容器が爆発していることが判明しておりまして、何らかの原因でこのシランガスが爆発したというふうに考えられておるわけでございます。