1988-10-25 第113回国会 衆議院 決算委員会 第7号
したがって、数年前の調査の実態というものもまた大きく変貌しているのではないかと考えられますし、地下水への影響ということも心配をされますと同時に、先ほど来御議論のありました、例えばフロン１１３といった有機塩素系の溶剤のほかにも、三塩化硼素あるいはシアンあるいはホスフィン、四塩化珪素、そうした百数十種類に及ぶ特殊ガス、その大半が有毒ガスだと言われておりますが、そういったものが今の先端技術の中に使われている
したがって、数年前の調査の実態というものもまた大きく変貌しているのではないかと考えられますし、地下水への影響ということも心配をされますと同時に、先ほど来御議論のありました、例えばフロン１１３といった有機塩素系の溶剤のほかにも、三塩化硼素あるいはシアンあるいはホスフィン、四塩化珪素、そうした百数十種類に及ぶ特殊ガス、その大半が有毒ガスだと言われておりますが、そういったものが今の先端技術の中に使われている
それから三つ目は、いろいろな酸化膜なんかを取り除きますときに使います、いわゆるエチンガスと言っておりますが、その中では三塩化硼素等が代表的なものではないかと思われます。最後に、ウエハーを洗浄いたしますけれども、そういう工程で有機溶剤としてトリクロロエチレン等が使用されている、このように承知をいたしております。
○島説明員 先ほど申し上げましたようにいろいろなガスが使われておりまして、ちょっと主だったものでも申し上げますと、モノシランとか二酸化珪素、アルシン、ホスフィン、三塩化硼素、ゲルマン、六弗化硫黄といったようなものが拡散工程で使用されているようでございます。